Реестровый номер записи
133822
Действует
Модель оборудования:
QL6513
Наименование товара:
Высокочастотный генератор плазмы
Наименование и тип РЭС или ВЧУ:
Промышленное ВЧУ
Изготовитель и страна:
MKS Instruments (Китай)
Радиочастотные характеристики
Полосы частот: 13424-13696 кГц
Мощность излучения: 6,5 кВт
Сроки действия
Срок действия реестровой записи:02.10.2032